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材料表面3D輪廓儀具有專業的測量能力，可在幾秒內就完成整個視場的掃描得到測量樣品的3D圖形與高度數據，檢測速度與深度量測能力優于逐點逐面掃描的共焦掃描顯微鏡，3D圖形量測能力又優于掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測能力，且不需要使用電子束或雷射，開機快又安全，維護成本更低。
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